ZTO（氧化鋅錫）旋轉(zhuǎn)靶
ZTO（氧化鋅錫）旋轉(zhuǎn)靶
成分比例：
ZnO/SnO2=2/1 mol%，ZnO/SnO=50/50wt%，ZnO/SnO=50/50wt%，ZnO/SnO2=40/60wt%
ZnO/SnO2=70/30wt%
應(yīng)用領(lǐng)域：光學(xué)玻璃AR膜系、Low-E鍍膜玻璃、工具鍍膜和裝飾鍍膜、
特點：成膜均勻性，濺射速率高
ZnO/SnO2=2/1 mol%，ZnO/SnO=50/50wt%，ZnO/SnO=50/50wt%，ZnO/SnO2=40/60wt%
ZnO/SnO2=70/30wt%
應(yīng)用領(lǐng)域：光學(xué)玻璃AR膜系、Low-E鍍膜玻璃、工具鍍膜和裝飾鍍膜、
特點：成膜均勻性，濺射速率高
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