碳化鎢(化學(xué)式:WC)是一種化學(xué)化合物(確切地說,是一種碳化物),含有等量的鎢和碳原子。碳化鎢最基本的形式是一種細灰色粉末,但它可以壓制成型,用于工業(yè)機械、切割工具、磨料、穿甲彈、其他工具和儀器以及珠寶。碳化鎢(WC)靶材用于生產(chǎn)DLC涂層(類金剛石碳)。
對于碳化鎢濺射靶材,建議對這些材料進行綁定。許多材料具有不適于濺射的特性,例如脆性和低熱導(dǎo)率。這種材料可能需要特殊程序。其他材料可能不需要此過程。導(dǎo)熱率低的靶材容易受到熱沖擊。
應(yīng)用
?化學(xué)氣相沉積(CVD)
?物理氣相沉積(PVD)
?半導(dǎo)體
?光學(xué)
制造工藝
?制造-冷壓-燒結(jié),彈性體粘合至背板
?清潔和最終包裝,清潔后用于真空