靶材是制備薄膜的關鍵基礎材料,目前比較常用的的靶材制備加工方法主要有粉末冶金技術和傳統的合金冶煉技術兩種,而我們采用的則是技術性較強、較新的真空熔煉技術。
鎳鉻靶材的制備就是根據客戶的不同純度需求,選擇不同純度的金屬鎳和金屬鉻為原料,使用真空感應熔煉爐熔煉,熔煉工藝一般為熔煉室室抽真空—氬氣洗爐—抽真空—惰性氣體保護—熔煉合金化—精煉—澆鑄—冷卻脫模。我們會對澆鑄完成的鑄錠進行成分檢測,符合要求的鑄錠就會進行下一步加工。
再將鎳鉻鑄錠進行鍛造、軋制等得到組織更均勻的軋板,然后對軋板按照客戶要求進行機加工,即可得到符合客戶需求的鎳鉻靶材。